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平面平晶 平行平晶

平面平晶 具体规格有Ф30mm;Ф45mm;Ф60mm;Ф80mm;Ф100mm;Ф150mm;Ф200mm;Ф250mm;Ф300mm共计九款。

平面平晶主要和高精度钠光灯箱配套使用,用于以干涉法检验块规、量规、零件密封面、测量仪器以及测量工具量面的研合性和平面度,适用于光学加工厂、厂矿企业计量室、精密加工车间、阀门密封面现场检测使用,也适用于高等院校、科学研究等单位做平面度等检测。

 

测量时,把平晶放在被测表面上,且与被测表面形成一个很小的楔角  ,以单色光源照射时会产生干涉条纹。干涉条纹的位置与光线的入射角有关。如入射光线垂直于被测表面,且平晶与被测表面间的间隙很小,则由平晶测量面P 反射的光线与被测表面反射的光线在测量面 P 发生干涉而出现明或暗的干涉条纹。若在白光下,则出现彩色干涉条纹。如干涉条纹平直,相互平行,且分布均匀,则表示被测表面的平面度很好;如干涉条纹弯曲,则表示平面度不好。其误差值为,式中 为两干涉条纹间距离, 为干涉条纹的弯曲值, 为光波波长,白光波长一般以0.6微米计算。

当干涉条纹平直、互相平行,且又均匀分布时,则说明其平面度好;当干涉条纹不规则、且无规律时,则说明其平面度不好。

平面平晶的干涉条纹平直则表示平面好.如果是彩色光圈一圈则是0.3微米,如看到不是一圈而是多圈则用所看到的圈数乘以0.3则是它的平面度.如是弧形则表示是0.3以下

根据干涉条纹计算平面度误差
1
)测量时若出现向一个方向弯曲的干涉条纹,如图所示,调整平晶位置,使之出现35条干涉带,则平面度误差的近似值为:
f= (v/w)
×(λ/2)
λ为光波波长,白光的平均波长为0.58μm,v为干涉带弯曲量,w为干涉带间距
但是如何精确确定vw的值,我也很迷惑!
2
)根据光圈计算平面度误差
若被测平面凹或凸,则会出现环形干涉带,调整平晶的位置,使干涉带数为最少,则平面度误差的近似值为:
f
(λ/2) ×n
λ为光波波长,白光的平均波长为0.58μmn为平晶直径方向上的光圈数

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